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第九五六章 研发极紫外光

第九五六章 研发极紫外光 (第2/2页)

“汤普森院长预测光源研究所,能在多长的时间内研制成功极紫外光?”
  
  孙健心中一喜,他不是不想投资研制极紫外光,而是担心投资太大,即使研制成功,没有配套的光学系统和相适应的光刻胶、掩膜版等,GCA也生产不出EUV光刻机!
  
  前世,举国之力研制13.5nm的EUV光源也没有结果,在世界上只有ASML控股的Cymer才能生产EUV光源,可见难度之大!
  
  在光刻机光源方面,光刻机光源后起之秀Cymer如今还不是GCA的对手。
  
  Cymer前世能成为光刻机光源的霸主,除了被ASML收购后不断投入巨资研发外,也有ASML将收购的GCA光刻机光源研究所并入Cymer光刻机光源研究院,强强联合。
  
  前世,极紫外光技术的研发成功,不知道汤普森院长在其中发挥的作用?
  
  GCA光刻机半导体研究院的研究重心应该放在技术领先的ArF准分子激光器和KrF光刻胶研制上。
  
  GCA与IBM同是Sematech会员,赢者通吃,避免重复研究,不担心IBM卡B子,IBM垄断KrF光刻胶十几年,但不知道什么原因?前世是信越化学等日本公司在光刻胶上一枝独秀,还卡了韩国人的脖子!
  
  “孙董事长,只要能保障光源研究所的研发经费,我保证光源研究所三年内研制成功极紫外光。”
  
  “汤普森院长,光源研究所需要多少研发经费?”
  
  汤普森院长不是年轻人,敢打包票,就说明有绝对的把握,重生者不怕花钱!一旦攻克了EUV,能否生产EUV光刻机?GCA都会成为光刻机行业的领导者!
  
  “董事长,我需要三千万元美元的研发经费,购买新的实验机器和材料。”
  
  艾德里安和布罗迪等众人喜忧参半,公司如今的现金流只剩下三百多万美元,要花钱的地方多的是。
  
  “汤普森院长,我现在就答应你,要是光源研究所在三年内研究成功极紫外光技术,我承诺奖励光刻机光源研究所研发团队五百万美元,其中一百万美元奖励汤普森院长。”
  
  这个时代的三千万美元相当于二十年后的三十亿美元,可以收购40%ASML的股权,不是一笔小数目!
  
  即使花了三千万美元,三年内没有研发成功,孙健相信GCA的光刻机光源技术和制程工艺也会突飞勐进。
  
  众人一脸的惊讶。
  
  “多谢董事长!”
  
  汤普森也是一愣。
  
  先入为主,重生者二手准备,当然希望汤普森院长率领GCA光刻机光源研究所,率先研制成功EUV,重新成为光刻机霸主后,GCA收购Cymer和AEMC,强强联合,就是收购SVG和Ultratech,成为美国唯一的光刻机公司,与Nikon和竞争,美国政府也会支持。
  
  
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